德国Leybold真空计常见种类都有哪些呢

　　德国Leybold真空计常见种类有下面这些：

　　1.热传导真空仪

　　利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空仪中，以一定加热电流通过装有热丝的规头，热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数，故热丝的温度随压强而变化。如用一附加的热偶测量热丝的温度，则这种规头称为热偶规；如利用热丝本身的电阻值来反映温度，则称电阻规或皮喇尼规。气体热传导只在低压强 (P<100帕)下随压强变化，而低至10-1帕时气体热传导又不是主要的散热方式，因此热传导真空仪主要用于100～10-1帕范围，采取特殊措施可扩大测量范围。

　　2.皮拉尼真空仪

　　其工作原理是：真空度不同，单位体积内的空气分子数就不同，对于正在发热的电阻丝带走热量的能力（散热能力）就不同，电阻丝温度就不同，因为电阻丝的电阻率是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空气压强，也就是测量真空度。

　　3.电容薄膜真空仪

　　电容薄膜真空仪也是德国Leybold真空计的一种，它属弹性元件真空仪，弹性薄膜将规管真空室分为两个小室，即参考压强室和测量室。测量低压强 (P<100帕)时，参考室抽至高真空,其压强近似为零。当测量室压强不同时，薄膜变形的程度也不同。在测量室中有一固定电极，它与薄膜形成一个电容器。薄膜变形时电容值相应改变，通过电容电桥可测量电容的变化从而确定相应压强值。为了防止薄膜发生蠕变，通常采用零位法测量，即在固定电极和薄膜之间加一直流电压，利用静电力补偿薄膜受压强差而产生的应力，使膜片保持零位。电容薄膜真空仪可直接测量气体或蒸气的压强，测量值与气体种类无关、结构牢固、可经受烘烤，如对不同压强范围采用不同规头，可得到较高精度。电容薄膜真空仪可用于高纯气体监测、低真空精密测量和压强控制，也可用作低真空测量的副标准。